満載!混合情報

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特徴マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンにしたユニットタイプです。

3種類の各ガスを流量制御し混合ガスを供給します。

仕様型番：CUBEGM3ガス種類：3サイズ（mm）：415x298x250対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2・CO2・O2流量制御範囲：各ガスF.S.10SCCM〜50SLM（但し、各ガスの合計流量が100SLM以下のこと）流量設定：10回転ポテンションメーターにて可変流量設定/出力表示：スケーリング表示設定/出力表示切替：トグルスイッチIN・OUTLETバルブ：ボールバルブ接ガス部材質：ステンレス（SUS316）、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）、フッ素ゴム継手：1/4in.SWL相当外部リーク：5x10^-7Pa・m3/sec He入力電源：AC100V使用環境：温度／5〜50度（精度保証範囲：15〜35度）、湿度／30〜80％（結露なし）付属品：ACケーブル（2m）

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